Calibración de resolución SEM

Los patrones o estándares de resolución SEM, cuando son de calidad son una herramienta esencial para obtener una óptima resolución, configuración, tamaño de haz y corrección de astigmatismo en los sistemas SEM, CD-SEM, FESEM, FIB, Microprobe, Auger y SIMS.

Estos patrones los tenemos de dos tipos:

  • Partículas de oro sobre un sustrato de carbono
  • Esferas de estaño sobre un sustrato de carbono

Los tenemos disponibles sin montar, o ya montados en los portamuestras SEM más populares (en stubs para JEOL o HITACHI, en pin stubs para ZEISS y en pin stubs standard para TFS/FEI, TESCAN, PHILIPS, LEICA, etc.). En todos ellos el sustrato de carbono tiene Ø 6 mm de diámetro y 2 mm de altura.

En las fichas descriptivas de estos productos encontrará un mayor detalle de sus características y aplicaciones.

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